แอ็กเซเลโรเมตรเป็นเซ็นเซอร์อินเนอร์เซียล ที่สามารถวัดความเร่งเชิงเส้น เนื่องจากแรงโน้มถ่วง ซึ่งสามารถใช้ได้อย่างแพร่หลาย ในการตรวจจับการสั่นสะเทือน การควบคุมอารมณ์การรับรู้การเคลื่อนไหวและการบันทึกสถานะ.

มีเซ็นเซอร์เร่งหลายประเภท เช่น เซ็นเซอร์เร่งแบบพีเซอร์เรสติฟ เซ็นเซอร์เร่งแบบยืดหยุ่น เซ็นเซอร์เร่งแบบฮิดรอแม็กเนติก เลเวติชั่น เซ็นเซอร์เร่งแบบควอตซ์เครื่องวัดเร่ง MEMS เป็นต้น

เซ็นเซอร์เร่งแบ่งออกเป็นแบบลุปเปิดและลุปปิด โดยทั่วไปเซ็นเซอร์ลุปเปิดมีตัวชี้วัดทางเทคนิคต่ํากว่า และเซ็นเซอร์ลุปปิดตัวชี้วัดทางเทคนิคสูงมาก.

เพราะฉะนั้น โดยพิจารณาเพียงตัวชี้วัดทางเทคนิค เราวางแผนที่จะใช้เซ็นเซอร์วงจรปิดต่อไปนี้วิเคราะห์และเปรียบเทียบข้อดีและข้อเสียของผลประกอบการของ accelerometer levitation แม็กเนตของเหลวเครื่องวัดความเร่งแบบแคปซิติฟของควอตซ์ และ เครื่องวัดความเร่งแบบ MEMS

1.เครื่องวัดเร่งการลอยของเหลว

เครื่องวัดความเร่งของเหลวเหลวเหลวเป็นเครื่องวัดความเร่งที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในเครื่องมือ MWD ช่วงต้นเป็นเครื่องวัดความเร็วของพังวาลที่ใช้เครื่องวัดความเร็วของพังวาลที่ลอยในเหลว พร้อมการควบคุมการตั้งกลาง Maglev สามมิติการตั้งกลางการแขวนตัวแม่เหล็กยังลดแรงหมุนการขัดขวางที่กระทําต่อการประกอบ pendulum float และทําให้แกนออกมีทิศทางที่มั่นคงมากและลดแรงหมุนชนิดการขัดขวางสุ่มต่างๆข้อดีหลักของมันคือความทนทานต่อการสั่นแรงที่ดี, ความทนทานต่อการกระแทก, และความทนทานต่ออุณหภูมิสูงข้อเสียคือ มันใช้เวลานานในการทํางานปกติ และมีลักษณะอุณหภูมิที่ไม่ดีมันเหมาะสําหรับทุกชนิดของระบบการนําทาง inertial ความแม่นยําสูง ระบบเพลตฟอร์มทิศทางและดาวเทียม ระบบควบคุมการบินยานอวกาศ

2เครื่องวัดความเร่งแบบแควาทซ์

เครื่องวัดความเร่งขนาดสัดส่วน เป็นอุปกรณ์ที่มีความรู้สึกต่อการเร่งที่พัฒนาขึ้นเพื่อการนําทาง อุปกรณ์ใช้คุณสมบัติของพีเซโอไฟฟ้าของคริสตัลควอตซ์เองเพื่อกระตุ้นรังเข้มแข็งเป็นองค์ประกอบที่กระตุ้นวัสดุคริสตัลควอตซ์มีความมั่นคงทางกลที่ดีและกําจัดปรากฏการณ์ creep ที่เป็นเรื่องปกติใน resonator โลหะข้อดีของมันคือความแม่นยําสูง, ความมั่นคงที่ดี, ความต้านทานอุณหภูมิสูง, และลักษณะอุณหภูมิที่ดี; แต่ชนิดอากาศมีความต้านทานแรงกระแทกที่ต่ําเพราะหลังจากที่ปินขั้นต่ําถูกเพิ่มไปยังเร่งพลเมือง, ความต้านทานการสั่นและความต้านทานแรงกระแทกของมันได้รับการปรับปรุงอย่างมาก, และตอนนี้ยังเป็นขณะที่เครื่องมือการเจาะเลือก accelerometer ใช้.

3.MEMS แอคเซเลโรเมตร

เครื่องวัดความเร็ว MEMS เป็นเครื่องวัดความเร็วแบบใหม่ที่พัฒนาขึ้นในช่วงหลายปีที่ผ่านมาราศีสั่นสะเทือนถูกทําจากวัสดุสลิบซิลิคอนหรือควอตซ์ และสั่นสะเทือนในความถี่ที่สะท้อนด้วยวิธีการ electrostatic หรือการกระทํา piezoelectricช่วงขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วขั้วการเร่งเข้าจะทําให้ความเข้มข้นของรังสั่นเปลี่ยน, ดังนั้นความถี่สะท้อนของรังสั่นจะเปลี่ยนแปลง ความถี่สะท้อนของรังสั่นหนึ่งจะเพิ่มขึ้น และความถี่สะท้อนของรังสั่นอื่นจะลดลงผ่านการประมวลผลสัญญาณ, ความถี่ความแตกต่างของมันตรงกับขนาดของความเร่งเข้า เนื่องจากปัจจัยของโครงสร้างและกระบวนการผลิต, ลักษณะที่โดดเด่นที่สุดของมันคือขนาดเล็ก,ความต้านทานการสั่นความทนทานต่อแรงกระแทก และความทนทานต่ออุณหภูมิสูง

เครื่องวัดความเร็ว MEMS สามารถใช้ได้อย่างกว้างขวางในการตรวจจับการสั่นสะเทือน การควบคุมอารมณ์ การเตือนความปลอดภัย การใช้งานของผู้บริโภค การรับรู้การเคลื่อนไหว และการบันทึกสถานะเครื่องวัดความเร่ง MEMS รวมกันกับจิโรสโกป MEMS และเครื่องวัดแม่เหล็กเพื่อสร้าง MEMS IMU (หน่วยวัดความอ่อนแอ)